阐述数学化学方程如何影响和关联其他数学物理方程式，以解决1-3nm节点中的关键问题。编号类型数学化学领域技术子领域数学物理分析核心数学方程式及参数列表及数字/数值误差/公差/期望/统计数学方程式应用场景和应用方法及步骤及详细的工程工艺的所有数值/数字/时序及每个时序的数值/数字列表关联知识6光刻与图案化光学、光化学极紫外（EUV）光刻成像光刻成像模型（霍普金斯方程）、光致酸扩散（PAG）反应动力学部分相干成像（霍普金斯方程）：I(x,y)=∬TCC(f′,g′;f′′,g′′)O~(f′,g′)O~∗(f′′,g′′)ei2π[(f′−f′′)x+(g′−g′′)y]df′dg′df′′dg′′，其中TCC为传输交叉系数，描述照明和投影系统的相干性。PAG酸生成：[H+]=C⋅[PAG]0​⋅(1−e−Dose⋅DillC)，描述曝光剂量与